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退火設備

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退火設備

隸屬公司:安平卡爾拉絲機械廠(chǎng)

發(fā)布日期:2021-03-22

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退火設備是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(cháng)的薄膜的狀態(tài),修復注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或將摻雜劑從一個(gè)薄膜轉移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專(zhuān)門(mén)為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業(yè)爐,超節能結構,采用纖維結構,節電0.6。

產(chǎn)品特點(diǎn):

1、無(wú)噪聲,無(wú)環(huán)境污染。

2、蓄熱性小,熱量流失少。

3、控溫精度高,爐溫均勻性強。

4、自動(dòng)化程度高,操作簡(jiǎn)單。

5、可采用PID編程設定,全自動(dòng)運行。

6、密封性好,壽命長(cháng),安全可靠。